隨著科技行業(yè)的不斷發(fā)展，人們對于產(chǎn)品精度的要求越來越高，對于加工工藝的要求也越來越嚴(yán)格。這就使得產(chǎn)品質(zhì)量檢驗(yàn)不斷向更高進(jìn)度更高標(biāo)準(zhǔn)發(fā)展，許多樣品檢測開始用上了顯微鏡等微觀設(shè)備。尤其是芯片行業(yè)，對于精度的要求很高，有些誤差要求0.1um，這也出現(xiàn)了新的問題，普通的光學(xué)顯微鏡只能觀測平面圖像，測試平面距離。而3D測量顯微鏡雖然可以測量物品3D形貌，但是價(jià)格比較高昂，而且測試速度比較慢，不適合用于高通量樣品的檢驗(yàn)，而且其對于產(chǎn)品高低差距比較大的樣品測試不是很精準(zhǔn)。這個(gè)時(shí)候輪廓儀就應(yīng)運(yùn)而生。

　　輪廓儀不僅可以在三維層面上測量關(guān)鍵尺寸，還可以通過強(qiáng)大的軟硬件配合，測量物體輪廓，體積。其可以選擇不同的插件，可以測試包括但不限于非球面、斑點(diǎn)、凸起、圓墊、同心度、A字切縫、凹陷、邊緣、平面度、激光切割、多臺(tái)階高度、探針痕深度、矩形孔、焊接掩模、墊片、球形等等。而且超快的掃描速度和一鍵生成報(bào)告，簡直為高通量樣品檢測量身定制。