在 30 keV STEM 下為 0.7 nm

在 1 keV 下為 1.4 nm

在 1 keV（射束減速）下為 1.2 nm

電子束參數(shù)空間

電子束電流范圍：1 pA 至 400 nA

著陸能量范圍：20* eV – 30 keV

加速電壓范圍：200 V – 30 kV

最大水平射野寬度：7 mm WD 時(shí)為 3.0 mm，60 mm WD 時(shí)為 7.0 mm

可通過標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)航剪輯提供超寬視野 (1×)

離子光學(xué)系統(tǒng)

加速電壓：500 V – 30 kV

電子束電流范圍：1.5 pA – 65 nA

15 位置光闌條

漂移抑制模式，為非導(dǎo)電樣品的標(biāo)準(zhǔn)模式

最小離子源壽命：1,000 小時(shí)

離子束分辨率：選擇角方法下 30kV 時(shí)為 3.0 nm

檢測(cè)器

Trinity 檢測(cè)系統(tǒng)（鏡筒內(nèi)和色譜柱內(nèi)）

T1 分段式下鏡筒內(nèi)檢測(cè)器

T2 上鏡筒內(nèi)檢測(cè)器

T3 可伸縮色譜柱內(nèi)檢測(cè)器（可選配）

多達(dá) 4 個(gè)同時(shí)檢測(cè)的信號(hào)

Everhart-Thornley SE 檢測(cè)器 (ETD)

用于二級(jí)離子 (SI) 和二級(jí)電子 (SE) 的高性能離子轉(zhuǎn)換和電子檢測(cè)器 (ICE)（可選配）

可伸縮、低電壓、高對(duì)比度、分段式、固態(tài)反向散射電子檢測(cè)器 (DBS)（可選配）

帶 BF/DF/HAADF 分段的可伸縮 STEM 3+ 檢測(cè)器（可選配）

查看樣品和腔室的 IR 攝像機(jī)

腔室內(nèi) Nav-Cam 樣品導(dǎo)航攝像機(jī)（可選配）

集成的光束電流測(cè)量

載物臺(tái)和樣品

靈活的 5 軸電動(dòng)平臺(tái)：

XY 范圍：110 mm

Z 范圍：65 mm

旋轉(zhuǎn)：360°（無限）

傾斜范圍：-15° 至 +90°

XY 重復(fù)性：3 μm

最大樣品高度：與共心點(diǎn)間距 85 mm

0° 傾斜時(shí)的最大樣品重量：5 kg （包括樣品架）

最大樣品尺寸：完全旋轉(zhuǎn)時(shí) 110 mm（也可以是更大的樣品，但旋轉(zhuǎn)有限）

計(jì)算中心旋轉(zhuǎn)和傾斜