離子濺射系統(tǒng)是一種基于物理氣相沉積(PVD)的薄膜制備技術，廣泛應用于材料科學、半導體制造等領域。本文從原理、核心組件和技術優(yōu)勢以及分類四方面展開分析。

　　1. 工作原理。

　　- 濺射機制：氬離子在高真空環(huán)境中被電場加速轟擊靶材表面，通過動量傳遞使靶材原子脫離并沉積到基片表面。

　　- 能量控制：通過調節(jié)電壓(通常為300-1000V)和氣體壓力(0.1-10Pa)控制薄膜生長速率與致密性。

　　2. 系統(tǒng)組成。

　　-離子源?：產生高能離子束(如聚焦束考夫曼源或平柵離子源)，能量范圍通常為0.5–3 keV，束流可達150 mA?12。

　　-?靶材?：被轟擊的材料，其原子通過濺射轉移到基片表面。

　　-?真空系統(tǒng)?：工作真空度需達1–2×10?2 Pa，極限真空可達4×10?? Pa?12。

　　-加速器?：用于提升離子束能量，增強轟擊效率?2。

　　?-中和裝置?：如燈絲中和，防止電荷積累對工藝的影響?1。

　　3. 技術優(yōu)勢 。

　　- 可制備金屬、陶瓷、高分子等多種薄膜材料。

　　- 薄膜附著力強，厚度均勻性達±5%以內。

　　?4.按功能分類。

　　-離子束輔助磁控濺射?：結合磁控技術提升沉積效率?5。

　　?-多功能聯(lián)合系統(tǒng)?：支持離子注入、濺射沉積及混合工藝。